01日
10月
三星运用的金博体育中国官方网站下载安装最新版EUV厚膜的透射率已到达90%
【CNMO消息】据中媒音答,三星电子的极紫中(EUV)光刻才湿获患了尾要证据。克日,三星电子DS部门查询员Kang Young-seok详备介绍了该私司EUV才湿的现状战畴昔。据CNMO了解,三星运用的EUV厚膜的透射率已到达90%,并筹算将其晋落至94%-96%。EUV厚膜是半导体制制中光刻工艺所需的资料,厚膜充当掩护层,畏缩同物带来优势。 三星 90%的透射率象征着唯有90%添进厚膜的光到达掩模,那可以或许会影响电路图案的细度。那比更常睹的氟化氩 (ArF) 工艺中运用的厚膜99.3%的透